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非製冷型微測輻射熱計微機電製造服務

天淵實業提供長波紅外線(LWIR)非製冷型微測輻射熱計微機電製造服務,製程平台聚焦於熱隔離微橋結構的製作,整合薄膜沉積、微影圖案化、蝕刻、犧牲層釋放與晶圓級製程控制。

此微機電製程能力專為非製冷紅外線感測應用而建立,可支援受控的熱傳導特性、穩定的感測表現與元件一致性,是長波紅外線熱影像感測核心與小型化熱影像模組的重要製程基礎。

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